โอโซนถูกทำลายได้ด้วยสารประกอบ ๓ กลุ่มใหญ่ๆ คือ คลอรีนออกไซด์ของไฮโดรเจน และออกไซด์ของไนโตรเจน
สารคลอโรฟลูออโรคาร์บอนเป็นสารประกอบ ของคาร์บอน ฟลูออไรด์ และคลอรีน คาร์บอน
เตตระคลอไรด์ (CCl4) คลอโรฟอร์ม (CHCL3) และเมธิลคลอโรฟอร์ม (CHCl3) ก็มีคลอรีน เช่นกัน
สารคลอโรฟลูออโรคาร์บอน หรือที่เรียกว่า ฟรีออน ส่วนใหญ่ใช้ในเครื่องทำความเย็น และเครื่องปรับอากาศ นอกจากนั้นยังใช้เป็นก๊าซ ขับดันในกระป๋องฉีดสเปรย์ต่าง ๆ ใช้เป็นสารทำความสะอาดชั้นดี หรือใช้สารนี้เป่าให้เกิดฟอง ในเนื้อของโฟม ที่ใช้ทำกล่องบรรจุอาหารต่าง ๆ เป็นต้น
เมื่อก๊าซเฉื่อยกลุ่มนี้ลอยขึ้นไปถึงชั้นสตราโทสเฟียร์ รังสีอัลตราไวโอเลต จะทำให้เกิดปฎิกิริยาขึ้น อะตอมคลอรีนแตกตัวออกมา จากนั้นอะตอมนี้จึงทำปฎิกิริยากับโอโซน จนเกิดคลอรีนมอนอกไซด์ (chlorinemonoxide, ClO) หากแต่มิได้หยุดยั้งเพียงแค่นั้น กลับปลดปล่อยอะตอมออกซิเจนออกมา
ให้จับกับอะตอมของออกซิเจนอื่น จนเกิดก๊าซนี้ขึ้น คงเหลืออะตอมคลอรีนไว้ให้ใช้ตั้งต้นใหม่ และทำงานต่อไปอีกนับหมื่นครั้ง ประกอบกับเป็นสารซึ่งมีอายุอยู่ในบรรยากาศได้ ๗๕ - ๑๐๐ ปี จึงทำลายก๊าซโอโซนได้ต่อเนื่องเป็นระยะเวลาอันนาน ดังที่ได้พบหลักฐานของการทำลายชั้นโอโซนนี้ ที่บริเวณขั้วโลกใต้ ช่องว่างในชั้นโอโซน (ozone holes) ขยายตัวกว้างขึ้นทุกปี พร้อมกับตรวจพบคลอรีนมอนอกไซด์
ออกไซด์ของไฮโดรเจน และออกไซด์ของไนโตรเจน ซึ่งเป็นตัวทำลายโอโซนนั้น อาจเกิดได้ในธรรมชาติเป็นส่วนใหญ่ ใบไม้ ซากพืชและสัตว์ ย่อมเน่าเปื่อย และผุพังไปตามธรรมชาติ คาร์บอนไดออกไซด์ และคาร์บอนมอนอกไซด์ เป็นต้น นอกจากนี้ก๊าซมีเทนยังกลายเป็นออกไซด์ของไฮโดรเจนต่อไปได้ ก๊าซเหล่านี้ทำลายชั้นโอโซนทั้งสิ้น หากสามารถขึ้นถึงชั้นสตราโทสเฟียร์ได้